● 規格(Spec)： 20吋，24吋，30吋，40吋

● 抽氣系統 (Pumping System)：
      低真空(Low Vaccum)：無油式幫浦Dry Pump、
                                             魯式幫浦RP + 助力幫浦BP
      高真空(High Vaccum)：冷凍式幫浦Cryo Pump、
                                              渦輪式幫浦Turbo Pump、
                                              擴散式幫浦Diffusion Pump
● 選配項目：
      真空加熱源(Degas)
      電漿清潔(Plasma Clean)
      高真空緩衝系統 (High Vaccum Buffer System)

● 製程能力：
      DC 濺鍍(metal, ITO)
      RF 濺鍍 (Oxide)

● 控制系統： 　
      PLC + iPC
      移動速度可調
      來回鍍膜次數可調
      氣體種類 / 流量可調