● 规格(Spec)： 20吋，24吋，30吋，40吋

● 抽气系统 (Pumping System)：
      低真空(Low Vaccum)：无油式帮浦Dry Pump、
                                             鲁式帮浦RP + 助力帮浦BP
      高真空(High Vaccum)：冷冻式帮浦Cryo Pump、
                                              涡轮式帮浦Turbo Pump、
                                              扩散式帮浦Diffusion Pump
● 选配项目：
      真空加热源(Degas)
      电浆清洁(Plasma Clean)
      高真空缓冲系统 (High Vaccum Buffer System)

● 制程能力：
      DC 溅镀(metal, ITO)
      RF 溅镀 (Oxide)

● 控制系统： 　
      PLC + iPC
      移动速度可调
      来回镀膜次数可调
      气体种类 / 流量可调