电浆原理

什么是电浆?电浆又称物质的第四态。电浆的产生类似物质的相转变。施加能量(例如高温)于物质上时,使材料发生固体熔化成液体;以及液体蒸发成气体。足够外加能量(例如射频或微波等)提供气体游离,形成电浆,电浆包含激发状态的原子、分子、离子或自由基等。因为电浆是在高能量状态,其化学反应性极高,使电浆在材料改质上有很大的助益。同时,在此讨论的应用,为低温或非平衡的电浆,或称为低温的辉光放电。


其应用范围涵括:

去除表面污染物

表面粗大化

表面改质〈亲水性 / 疏水性〉

增进薄膜与基材的附着

图案化

电浆聚合

电浆诱导嫁接