電漿原理

什麼是電漿?電漿又稱物質的第四態。電漿的產生類似物質的相轉變。施加能量(例如高溫)於物質上時，使材料發生固體熔化成液體;以及液體蒸發成氣體。足夠外加能量(例如射頻或微波等)提供氣體游離，形成電漿，電漿包含激發狀態的原子、分子、離子或自由基等。因為電漿是在高能量狀態，其化學反應性極高，使電漿在材料改質上有很大的助益。同時，在此討論的應用，為低溫或非平衡的電漿，或稱為低溫的輝光放電。