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抗反射鍍膜、
低溫導電膜鍍膜
TUCANA®FAMILY
應用:
低溫氧化銦錫(ITO)導電膜
抗反射塗佈
基板:
材料: 玻璃
尺寸:4" to G6
加熱模組:
基板溫度最高380℃
電漿處理模組(選配):
表面活化與清潔
濺鍍模組:
旋轉式或平面式磁控濺鍍
電壓形式: 直流(DC),中頻(MF), 脈衝直流(pulse DC), 射頻疊加直流(RF superimposed DC)
膜厚不均勻度: <±5%
批次間膜厚不均勻度: <±3%