|
|
太陽能電池
銅銦鎵硒(CIGS)、
矽基(Si base)薄膜太陽能電池鍍膜、
異質結構(HIT)太陽能電池鍍膜
SCORPIO®FAMILY
- 應用:
- 銅銦鎵硒(CIGS)或矽基(Si based)薄膜太陽能電池
- 異質結構(HIT)太陽能電池
- 基板:
- 材料: 玻璃
- 尺寸:30x30 cm2 to G5
- 塗佈:
- 金屬: 鉬, 鉻, 鋁
- 先驅化合物Precursor: 銅鎵(Cu-Ga), 銦(In), 銅銦鎵(CIG)
- 透明導電塗佈(TCO): 氧化鋁鋅(AZO), 氧化銦錫(ITO), 氧化銦鋅(i-Zno),氧化鋅鎵(GZO)
- 加熱模組:
- 基板溫度最高250℃
- 電漿處理模組(選配):
- 表面活化與清潔
- 濺鍍模組:
- 旋轉式或平面式磁控濺鍍
- 電壓形式: 直流(DC),中頻(MF), 脈衝直流(pulse DC), 射頻疊加直流(RF superimposed DC)
- 膜厚不均勻度:<±5%(±3% 為選配)
- 批次間膜厚不均勻度:<±3%
|
|
發光二極體 金屬化鍍膜
LEPUS®FAMILY
- 應用:
- 基板:
- 材料: 陶瓷
- 尺寸: 4.3"x4.3",4.5"x4.5"
- 塗佈:
- 加熱模組:
- 電漿處理模組:
- 濺鍍模組:
- 平面式磁控濺鍍
- 電壓形式: 直流(DC)
- 雙面塗佈
- 側壁覆蓋產能:>6 (長寬比)
- 膜厚不均勻度:<±5%
- 批次間膜厚不均勻度: <±3%
|
|
